氦質譜檢漏的技術指標
1. *小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s
2. 漏率顯示范圍：1×10-4—1×10-12Pa·m3/s
3. 啟動時間：≤5min
4. 響應時間：≤1.5s
5. 檢漏口的*高壓力：1000Pa
6. 電源要求：220v，50Hz，單相，10A
7. 工作環境：5-35℃
8. 相對濕度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）
10. 重量：66kg
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